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            英格爾認證檢測

            001

            我們為半導體潔凈度檢測產業提供

            一站式技術服務

            多種試驗設計應對各種污染物

            專業為客戶提供一站式服務

            • 顆粒物

            • 有機污染物

            • 金屬污染物

            • 其他化學物質

            • 平面設計系統
            • 單臺結構功能設計
            • 供排水系統
            • 電控系統
            • 氣體輸送系統
            • 有害氣體輸出系統
            SEMI F57標準介紹

            專業為客戶提供一站式服務

            • SEMI F57用于超純水和液態化學品輸送系統的聚合物材料及組件的規范文件。標準規定了在UPW分配系統中輸送超純水(UPW)的超高純度(UHP)聚合物材料和組件的最低性能要求。主要針對聚合物材料和組件的性能要求和驗證。

              國際半導體產業協會SEMI為半導體制程設備提供了一系列環境、安全和衛生方面的準則,適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。半導體先進制程工藝中使用的超純水,超純化學品的使用要求日益提高,材料的選擇在半導體濕法工藝中越發重要,對含氟聚合物的純度要求也越來越高。SEMI F57標準對UHP液態化學品輸送系統(LCDS)中高聚合物材料和組件的選擇、生產過 程、產品結構設計等各方面均提出了要求和有效建議。

            SEMI F57標準適用產品

            專業為客戶提供一站式服務

            • 半導體超純水

              液態化學品傳送系統中的聚合物材料、組件及過程設備

            • 管道、配件、閥門、過濾殼體、壓力傳感器、流量計、計量器、校準器

            SEMI F57測試項目

            專業為客戶提供一站式服務

            • 陰離子污染

            • 總有機碳TOC

            • 金屬離子污染

            • 表面粗糙度

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            • ICAS英格爾自2000年創立以來,切實把握國家戰略需要、著眼行業痛點,構建“國家+企業雙輪驅動”的業務戰略格局,在質量保證、清潔能源、創新研發、市場服務、企業服務和戰略合作等領域多元化發展,突破行業業務模式,打造開放式創新賦能平臺。

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