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SEMI F57用于超純水和液態化學品輸送系統的聚合物材料及組件的規范文件。標準規定了在UPW分配系統中輸送超純水(UPW)的超高純度(UHP)聚合物材料和組件的最低性能要求。主要針對聚合物材料和組件的性能要求和驗證。
國際半導體產業協會SEMI為半導體制程設備提供了一系列環境、安全和衛生方面的準則，適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。半導體先進制程工藝中使用的超純水，超純化學品的使用要求日益提高，材料的選擇在半導體濕法工藝中越發重要，對含氟聚合物的純度要求也越來越高。SEMI F57標準對UHP液態化學品輸送系統(LCDS)中高聚合物材料和組件的選擇、生產過 程、產品結構設計等各方面均提出了要求和有效建議。
SEMI F57標準適用產品
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半導體超純水
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SEMI F57測試項目
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ICAS英格爾自2000年創立以來，切實把握國家戰略需要、著眼行業痛點，構建“國家+企業雙輪驅動”的業務戰略格局，在質量保證、清潔能源、創新研發、市場服務、企業服務和戰略合作等領域多元化發展，突破行業業務模式，打造開放式創新賦能平臺。
未來，ICAS英格爾將繼續堅持需求驅動發展，創新鑄就未來，打造一流的客戶服務體驗，讓每一位客戶實現“加速業務成長，提升核心競爭力，共創可持續發展”。
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